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掃描探針顯微鏡針尖電容的測量與應用

發(fā)布時間：2009/4/20 12:11:00

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提供者：中國傳動網

【掃描探針顯微鏡針尖電容的測量與應用】

資料介紹
本文基于掃描探針顯微鏡（SPM）建立了微區(qū)電容的低頻測量系統(tǒng),最小測量電容為30aF,工作頻率為20～100kHz。試驗測量了SPM導電針尖與金屬樣品之間的電容Ctip與它們之間的距離z關系曲線,并同時通過光學系統(tǒng)測量了針尖的關于頻率的一次受力信號Fw與z的關系曲線。

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