技術(shù)頻道

在現(xiàn)有的粉末燒結(jié)型SnO2基氣敏傳感器基礎(chǔ)上研制了薄膜型SnO2基氣體傳感器，以拋光的耐熱石英玻璃為基片，真空磁控濺射50~70nm厚度的SnO2薄膜，在SnO2薄膜上分別濺射不連續(xù)的ZnO、Al2O3、CeO2、InO2等薄膜，傳感器背面濺射30μm的Ni80Cr20電阻合金作為傳感器加熱電阻，用薄膜熱電偶測(cè)量傳感器工作溫度。測(cè)試了不同的復(fù)合膜對(duì)傳感器靈敏度和選擇性的影響，并對(duì)傳感器的吸附與解吸速度進(jìn)行了測(cè)試，薄膜傳感器達(dá)到相同靈敏度所需的工作溫度比粉末燒結(jié)型傳感器下降100~150℃，吸附解吸速度比粉末燒結(jié)型快。