■晶圓檢測 　　目的：檢測晶圓盒中的晶圓 　　應(yīng)用：激光發(fā)射器發(fā)出細(xì)小光束，帶0.02水平矩形光縫的接收器能保證光束完全被晶圓擋住。晶圓盒被安裝在一個垂直運(yùn)動的升降器上，當(dāng)升降器上下運(yùn)動時檢測。 　　傳感器：M12E2LD & Q23SN6R w/AR19-00，加裝一個0.5mm（0.020）矩形光縫 　　 　　 　　■300mm晶圓檢測 　　目的：檢測300mm FOUP中晶圓的有無 　　應(yīng)用：兩個PicoDot傳感器用來同時檢測同一晶圓的邊沿。如果只有一個傳感器檢測到了邊沿，則認(rèn)為晶圓錯位，此方位也可用于檢測雙槽晶圓。對于短距離的應(yīng)用，可選用PD45VN6C50. 　　傳感器：PD45VN6C200 　　 　　 　　■檢測晶圓盒 　　目的：可靠檢測各種顏色的晶圓盒 　　應(yīng)用：晶圓盒由不同顏色的材料制成。VS1系列聚焦式傳感器在焦點(diǎn)處具有很高的增益，使其不受晶圓盒顏色和材料的影響。 　　傳感器：VS1AN5C10 　　 　　 　　■檢測晶圓是否探出 　　目的：檢測是否有凸出于晶圓盒的晶圓 　　應(yīng)用：向外凸出的晶圓容易被折斷或損壞，這會減少產(chǎn)量并能導(dǎo)致停工。MD14BB6放大器配合SP8ER1遠(yuǎn)程傳感器，可提供一個非常小（1.5mm）的有效光束，對射式最大的檢測距離為300mm（12”）。 　　傳感器：SP8ER1 　　放大器：MD14BB6 　　 　　 　　■晶圓盒儲存設(shè)備人身保護(hù) 　　目的：在半導(dǎo)體晶圓盒儲存設(shè)備的機(jī)械手操作點(diǎn)進(jìn)行人身保護(hù) 　　應(yīng)用：設(shè)備中有一個活動的機(jī)械手，當(dāng)有人遮擋光幕時，機(jī)械手將停止動作。 　　傳感器：MICRO-SCREEN安全光幕，USDKT2024C4YP2 　　 　　 　　■清洗槽中晶圓盒的檢測 　　目的：檢測清洗槽中晶圓盒的有無 　　應(yīng)用：Teflon外殼的光纖安裝在清洗槽中對稱的兩側(cè)。Teflon包裹的光纖頭不僅耐腐蝕而且在密封的液體容器中有很小的摩擦力。光纖還包含一個鏡頭以增大檢測范圍和有效光束。當(dāng)清洗盒到位時，光束被阻斷。 　　傳感器：D12SN6FP 　　光纖：PIE46UT 　　 　　 　　■晶圓中心的檢測 　　目的：確定機(jī)械臂上晶圓的中心 　　應(yīng)用：三個檢測點(diǎn)用來檢測機(jī)械臂上晶圓的中心。其中任何一條光束被阻斷，系統(tǒng)控制器都會檢測到。機(jī)械臂的編碼器信息也輸入到控制器，控制器分析傳感器的輸出以確定晶圓的位置。 　　傳感器：D12SN6FP 　　光纖：PIT46UHT1 　　 　　 　　■檢測晶圓的凸出/原點(diǎn)位置的確認(rèn) 　　目的：確認(rèn)兩個狀態(tài);是否有突出的晶圓，機(jī)械臂的原點(diǎn)位置 　　應(yīng)用：在移動門關(guān)上之前，對射式的M12發(fā)射器和EZ-BEAM接收器用來檢測是否有晶圓凸出于晶圓盒;PicoDot系列傳感器，具有精密的聚焦點(diǎn)用來檢測晶圓的邊緣，以確定機(jī)械臂的原點(diǎn)位置。 　　傳感器：PD45VN6C200， S12接收器/M126發(fā)射器 　　 　　 　　■真空環(huán)境中晶圓的檢測 　　目的：檢測真空環(huán)境中機(jī)械臂上是否有晶圓 　　應(yīng)用：在晶圓的傳送過程中，機(jī)械臂上必須保證有晶圓。但是從外部無法檢測晶圓是否存在。VFT-M8MVS可以連接真空室外部提供的一束光信號（在這種應(yīng)用場合要使用兩個）。特殊型號光纖IMT753SMVF（須成對使用）沒有使用環(huán)氧材料或塑料，因?yàn)檫@種材料會對真空室產(chǎn)生污染。在真空室外部，塑料光纖PIF66UMVFA將光信號傳送到放大器D12SN6FP. 　　傳感器：D12SN6FP 　　光纖：VFT-M8MVS，PIF66UMVFA & ML753SMVF 　　 　　 　　■晶圓平整度的檢測 　　目的：檢測晶圓平面是否垂直于傳感器檢測軸 　　應(yīng)用：MINI-BEAM專家型直接反射式傳感器，帶可見紅光光源，能很好檢測光亮平面的水平度。傳感器的“示教”功能能使其確定一個很小的光檢測窗口，所以它能檢測位置不正確的晶圓。 　　傳感器：SME312DV