基于微熔工藝 MEMS 應(yīng)變片技術(shù)的 測力 / 力矩傳感器

　　在此背景下，鑫精誠傳感器基于微熔工藝的MEMS應(yīng)變片 技術(shù)，為六維力傳感器的自動化生產(chǎn)提供了可行的解決方案。

　　同時，鑫精誠公司專門投資建設(shè)了全自動化產(chǎn)線集群， 集成微熔工藝、微納加工、AI視覺檢測等先進(jìn)工藝，全力推 進(jìn)自動化生產(chǎn)線的規(guī)劃與建設(shè)。通過引入高度智能化的生產(chǎn) 設(shè)備和精密的工藝流程，旨在實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)效率的質(zhì)的飛躍;同 時，借助規(guī)模化生產(chǎn)的經(jīng)濟(jì)效應(yīng)，進(jìn)一步壓縮單件產(chǎn)品的制 造成本。

　　1 XJC-GWR-6F-D80基于微熔工藝MEMS應(yīng) 變片技術(shù)的六維力傳感器

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　· 可批量化自動生產(chǎn);

　　· 高剛性、抗過載、高壽命;

　　· 結(jié)構(gòu)解耦融合軟件解耦的雙重解耦技術(shù)。

　　這種全方位的布局不僅能夠確保六維力傳感器在性能上 滿足高端需求，還能在價(jià)格上更具競爭力，從而推動其在人 形機(jī)器人領(lǐng)域的全面普及。與此同時， 自動化生產(chǎn)線的建成 還將顯著提升公司的產(chǎn)能上限，有效應(yīng)對市場對大批量、高 質(zhì)量六維力傳感器的迫切需求，為人形機(jī)器人產(chǎn)業(yè)的快速發(fā) 展注入強(qiáng)勁動力。

　　針對人形機(jī)器人對力覺感知系統(tǒng)的嚴(yán)苛要求，基于微熔 工藝MEMS應(yīng)變片技術(shù)的六維力傳感器和關(guān)節(jié)扭矩傳感器突 破了三大核心性能挑戰(zhàn)：

　　(1)高剛性

　　通過優(yōu)化材料力學(xué)結(jié)構(gòu)與內(nèi)部應(yīng)力分布，確保傳感器在動 態(tài)運(yùn)動與載荷傳遞中維持極小形變量，避免機(jī)械變形對力反饋 精度的干擾，為精準(zhǔn)的平衡控制與柔順操作提供基礎(chǔ)保障;

　　(2)抗過載

　　能有效抵御突發(fā)碰撞和誤操作沖擊，保護(hù)核心應(yīng)變體及 敏感元件在極端載荷下的功能完整性;

　　(3)高壽命通過玻璃微熔工藝替代傳統(tǒng)有機(jī)粘合劑，解決了材料界面老化、環(huán)境侵蝕等問題，使傳感器能夠穩(wěn)定應(yīng)對高頻關(guān)節(jié) 運(yùn)動產(chǎn)生的交變應(yīng)力，保障全生命周期內(nèi)的測量一致性與可 靠性。

　　MEMS應(yīng)變計(jì)的靈敏度是普通金屬箔式應(yīng)變計(jì)的35倍以 上，因此基于MEMS技術(shù)的傳感器可以做到在抗過載性能和 剛性方面的指標(biāo)超過常規(guī)應(yīng)變片傳感器的10倍以上，確保了 在嚴(yán)苛工況下的可靠性。

　　2 XJC-GWR-NJ基于微熔工藝MEMS應(yīng)變片技 術(shù)的關(guān)節(jié)扭矩傳感器

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　· 獨(dú)特的交叉載荷自補(bǔ)償技術(shù)，可將交叉載荷帶來的串 擾誤差控制在0.5%以下;

　　· 高剛性、抗過載、高壽命;

　　· 結(jié)構(gòu)解耦融合軟件解耦的雙重解耦技術(shù)。

　　此外基于玻璃微熔的工藝又避免了常規(guī)有機(jī)粘接劑的長 期穩(wěn)定性差的問題，大幅提高了傳感器的使用壽命。

　　在這場由材料科學(xué)與智能制造驅(qū)動的技術(shù)革新中，鑫精 誠傳感器通過玻璃微熔 MEMS 應(yīng)變片技術(shù)與全自動化產(chǎn)線的 深度融合，為人形機(jī)器人的力覺感知系統(tǒng)提供了兼具高性能 與經(jīng)濟(jì)性的解決方案。

　　這種高剛性、抗過載、長壽命的傳感器技術(shù)，不僅突破 了傳統(tǒng)應(yīng)變片在動態(tài)響應(yīng)與環(huán)境適應(yīng)性方面的局限，更通過 規(guī)模化生產(chǎn)顯著降低了核心部件成本，為機(jī)器人從工業(yè)場景 向服務(wù)、醫(yī)療等領(lǐng)域的滲透提供了關(guān)鍵支撐。