據(jù)媒體報(bào)道，新松機(jī)器人宣稱擬募資18.03億元主要用于建設(shè)半導(dǎo)體領(lǐng)域半導(dǎo)體設(shè)備及自動(dòng)化項(xiàng)目，用于IC真空機(jī)械手及集束型設(shè)備項(xiàng)目、半導(dǎo)體自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)項(xiàng)目、半導(dǎo)體物料管理控制系統(tǒng)項(xiàng)目以及補(bǔ)充流動(dòng)資金。

　　作為國(guó)內(nèi)僅有的一家真空機(jī)械手的供應(yīng)商，去年機(jī)器人真空機(jī)械手已批量應(yīng)用于北方華創(chuàng)(002371)、中科院微電子研究所等企業(yè)和機(jī)構(gòu)，有望在國(guó)內(nèi)全面推廣。

　　眾所周知，新松機(jī)器人成立于2000年，隸屬中國(guó)科學(xué)院，是中國(guó)第一家從事機(jī)器人產(chǎn)業(yè)化和實(shí)現(xiàn)機(jī)器人出口的企業(yè)。新松機(jī)器人產(chǎn)品線齊全，涵蓋工業(yè)機(jī)器人、潔凈機(jī)器人、移動(dòng)機(jī)器人、特種機(jī)器人及智能服務(wù)機(jī)器人五大系列。

　　機(jī)器人進(jìn)軍半導(dǎo)體行業(yè)是一種挑戰(zhàn)

　　半導(dǎo)體行業(yè)包括了眾多領(lǐng)域，在這些領(lǐng)域當(dāng)中又有著很多復(fù)雜的工序，比如前期的晶體制造、中期的封裝集成，還有后期的組裝包裝、運(yùn)輸?shù)鹊?。機(jī)器人進(jìn)軍半導(dǎo)體行業(yè)既是一種挑戰(zhàn)也是一種趨勢(shì)，機(jī)器人本身需要具有易使用、性能靈活輕便，不僅要滿足無(wú)塵空間的等級(jí)要求，還要小心易碎的產(chǎn)品，對(duì)極為細(xì)微的器件需要高度精準(zhǔn)地定位、放置和組裝。

　　半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)工業(yè)機(jī)器人的要求十分嚴(yán)格，在真空環(huán)境下，要保證機(jī)器人的潔凈度，因?yàn)榘雽?dǎo)體產(chǎn)品的特殊性，還要求機(jī)器人防震，防抖動(dòng)，靜音生產(chǎn)，能夠有精準(zhǔn)到5mm的重復(fù)定位等等。

　　進(jìn)軍半導(dǎo)體市場(chǎng)，抓住產(chǎn)業(yè)鏈遷移機(jī)遇

　　隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國(guó)大陸遷移，英特爾、三星等國(guó)際大廠陸續(xù)在我國(guó)大陸地區(qū)投資建廠，大陸對(duì)半導(dǎo)體領(lǐng)域自動(dòng)化設(shè)備需求提升。

　　基于此，新松開始進(jìn)軍半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域：2009年、2011年新松開始承擔(dān)兩大國(guó)家集成電路“02專項(xiàng)“項(xiàng)目，加大了對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)；2018年，新松機(jī)器人開始設(shè)立半導(dǎo)體裝備BG，主要面向以芯片制造，面板制造為代表的泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，提供設(shè)備與自動(dòng)化解決方案。目前，新松已經(jīng)成功研發(fā)了國(guó)內(nèi)首臺(tái)具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型雙臂大氣機(jī)械手，并且通過(guò)了終端用戶華創(chuàng)、中微等客戶驗(yàn)證。

　　除了在產(chǎn)品開發(fā)上加大力度，新松在資本層面也采取了相應(yīng)動(dòng)作。2018年1月，新松以約6.4億元人民幣收購(gòu)韓國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)新盛旗下公司80%的股權(quán)。不難看出，通過(guò)這些舉措，新松希望在下一個(gè)行業(yè)爆發(fā)點(diǎn)來(lái)臨前搶占先機(jī)。

　　擬募資18億新建半導(dǎo)體設(shè)備

　　新松此次擬向特定對(duì)象發(fā)行股票的募集資金總額不超過(guò)18.03億元用于IC真空機(jī)械手及集束型設(shè)備項(xiàng)目、半導(dǎo)體自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)項(xiàng)目、半導(dǎo)體物料管理控制系統(tǒng)項(xiàng)目以及補(bǔ)充流動(dòng)資金。

　　此前新松已研制了系列化潔凈真空機(jī)器人產(chǎn)品，包括大氣機(jī)械手系列產(chǎn)品(潔凈度達(dá)到Class1)、集成電路裝備真空機(jī)械手系列產(chǎn)品(真空度達(dá)到最高1×10-6Pa)。真空直驅(qū)機(jī)器人打破國(guó)外壟斷，可以實(shí)現(xiàn)直接替代；自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)系統(tǒng)設(shè)備主要包括潔凈存儲(chǔ)系統(tǒng)(Stocker)、潔凈軌道系統(tǒng)、空中無(wú)人搬運(yùn)車(OHT)等，公示可以為半導(dǎo)體工廠提供整套自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)；而新松承接的廣州超視堺Mask搬送系統(tǒng)項(xiàng)目，其中也包含ACS系統(tǒng)(類似MCS的系統(tǒng)，規(guī)模要比MCS系統(tǒng)規(guī)模小)的子訂單，具有先天優(yōu)勢(shì)。

　　上述三個(gè)項(xiàng)目建成后，年預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年均營(yíng)業(yè)收入約10.05億元、11.90億元、1.8億元，合計(jì)達(dá)到23.75億元。而去年公司全年?duì)I收27.45億元，此次擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目若達(dá)成目標(biāo)將增加營(yíng)收85%。

　　機(jī)器人將半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)確定為三大業(yè)務(wù)板塊之一，2018年5月，公司集中整合資源成立半導(dǎo)體裝備事業(yè)部，完善在集成電路設(shè)備自動(dòng)化與自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)產(chǎn)業(yè)的布局，潔凈真空機(jī)器人、潔凈自動(dòng)化裝備、自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)是公司自主研發(fā)的面向集成電路行業(yè)高端的成套裝備，半導(dǎo)體物料管理控制系統(tǒng)(MCS)產(chǎn)業(yè)化是公司拓展的新業(yè)務(wù)。

　　應(yīng)用半導(dǎo)體，新松已走在前列

　　目前新松研發(fā)的真空機(jī)械手已批量應(yīng)用于北方華創(chuàng)、中科院微電子研究所等企業(yè)。集束型設(shè)備行業(yè)應(yīng)用涵蓋半導(dǎo)體CMP清洗設(shè)備、半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備、半導(dǎo)體涂膠設(shè)備等，且實(shí)現(xiàn)小批量示范應(yīng)用；半導(dǎo)體自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)在上海集成電路研發(fā)中心生產(chǎn)線上的應(yīng)用，并成功應(yīng)用于Sandisk、賽意法等半導(dǎo)體芯片加工廠，面向面板制造廠開發(fā)的掩模版自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)，已經(jīng)在華星光電T1、T7工廠及夏普廣州廠實(shí)現(xiàn)成熟應(yīng)用。

　　2012年以來(lái)，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備需求迅猛增長(zhǎng)，中國(guó)是全球第二大半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，2018年達(dá)到131.10億美元，但國(guó)產(chǎn)設(shè)備自給率很低，僅為13%左右。未來(lái)即便核心半導(dǎo)體設(shè)備依然依靠進(jìn)口，半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化空間仍然巨大。并且半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化對(duì)工廠的稼動(dòng)率非常重要，全球該市場(chǎng)的年采購(gòu)額在20億美金左右，由于國(guó)外對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的封鎖，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)于自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)需求迫切。

　　而新松是國(guó)內(nèi)唯一一家真空機(jī)械手的供應(yīng)商，而新松自主研發(fā)的面向半導(dǎo)體行業(yè)的高端裝備自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)已經(jīng)形成了獨(dú)立產(chǎn)品線，可以逐步實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代。

　　潔凈(真空)機(jī)器人及半導(dǎo)體裝備作為新松公司的核心業(yè)務(wù)之一，現(xiàn)已形成大氣機(jī)械手、真空機(jī)械手、EFEM、真空平臺(tái)、STOCKER和AMHS系統(tǒng)多個(gè)產(chǎn)品線。潔凈產(chǎn)品客戶現(xiàn)已遍及大陸以及臺(tái)灣地區(qū)。

　　目前，新松潔凈機(jī)器人已徹底打破國(guó)外同類企業(yè)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的壟斷局面，擁有國(guó)內(nèi)市場(chǎng)50%以上份額。

　　新松復(fù)合機(jī)器人基于移動(dòng)機(jī)器人和工業(yè)機(jī)器人系統(tǒng)的創(chuàng)新融合，綜合視覺補(bǔ)償、力覺控制、碰撞保護(hù)和主動(dòng)導(dǎo)航等技術(shù)，可快速布局自動(dòng)化工廠，適應(yīng)高柔性化生產(chǎn)模式，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝測(cè)試環(huán)節(jié)，可滿足FOUP，CST，MGZ在各機(jī)臺(tái)間的自動(dòng)運(yùn)輸，終端定位精度可達(dá)±0.05mm，CLASS100潔凈度，能為半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用提供最優(yōu)的系統(tǒng)解決方案。