應用案例

　　力矩電機在光學檢測中的應用

　　行業(yè)背景

　　近年來，在半導體、光伏行業(yè)中，力矩電機得到了越來越廣泛的推廣和應用。在這些應用中，大部分運動要求都是點到點，即運動過程并非重點關注項，而是著重關注到位精度，因此對電機的重復精度提出了高要求。

　　此類應用普遍都要求電機的重復精度在±1~±2角秒之間(1角秒=1/3600度)，較少關注電機轉(zhuǎn)動時的速度波動情況，對于客戶來說只要到位精度準確，便基本不影響應用。

　　客戶需求

　　然而，有些特殊的應用場景卻對電機提出了不一樣的要求。

　　橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學測量設備。通常使用雙電機運行，對位置輕微波動十分敏感，因此它對電機的速度波動要求極高。

　　當電機運行在1000rpm左右時，電機的速度波動率需控制在千分之一至萬分之一以內(nèi)。此外，該應用對電機的軸跳精度要求也較高，通常要求電機的軸跳在5um以內(nèi)。

　　產(chǎn)品推介

　　力矩電機

　　雅科貝思力矩電機——ACD系列電機是無鐵芯無刷電機，不會產(chǎn)生任何齒槽扭矩，從而可以實現(xiàn)平滑運動以及較低的速度脈動。獨特的繞組設計使其擁有高扭矩密度。

　　ACD系列

　　電機采用無鐵芯設計，無齒槽扭矩，低速度波動

　　集成高精密軸承，標準品軸向徑向端跳可低至10μm(經(jīng)過特殊定制可達5μm)

　　內(nèi)置高精度光柵編碼器，電機重復精度可達±3arcsec

　　中孔設計，12mm~25mm，方便客戶走線以及布局光學反饋設備

　　定制化解決方案

　　ACD系列作為雅科貝思標準品電機應用于各行各業(yè)之中，但在端跳、速度波動等一些參數(shù)方面暫時無法滿足類似橢偏儀這樣的設備。

　　因此，在ACD系列的基礎上，雅科貝思經(jīng)過數(shù)月的持續(xù)研發(fā)升級，及多輪產(chǎn)品迭代，最終開發(fā)出能完美匹配此類對速度波動有極高要求的產(chǎn)品。

　　無論是正裝還是側(cè)裝，其速度波動率均可實現(xiàn)0.05%(實測基于1200rpm，搭配合適驅(qū)動)。從實測數(shù)據(jù)看，新研發(fā)產(chǎn)品已達到該應用領域的一流設計水準。

　　同時，電機的軸跳可以輕松實現(xiàn)5μm以內(nèi)精度。

新研發(fā)產(chǎn)品速度波動實測結(jié)果

新研發(fā)產(chǎn)品軸跳測試實測結(jié)果

　　更多應用

　　除橢偏儀外，其他多種需要光學反饋的高精密、低速度波動應用均可使用該電機，例如所有與光學檢測相關的應用、恒速配藥行業(yè)等。

　　產(chǎn)品一經(jīng)推出，便吸引了眾多客戶的興趣。經(jīng)過多方嚴格測試，越來越多的行業(yè)頭部企業(yè)對該產(chǎn)品給予了肯定，并與雅科貝思進行了深度合作。

　　雅科貝思能依據(jù)不同客戶的不同需求，定制專業(yè)的有針對性的全套解決方案，研發(fā)出多款定制型號。

　　如需具體參數(shù)，請致電雅科貝思。