摘 要: 納米定位平臺(tái)是現(xiàn)代科研與制造業(yè)的核心，它們能夠提供半導(dǎo)體、光子學(xué)和生物納米技術(shù)突破所必需的亞納米精度、穩(wěn)定性與速度。PI攜PIMars系列高速XYZ納米定位系統(tǒng)、P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺(tái)系統(tǒng)與P-517·P-527多軸壓電陶瓷掃描儀重磅登場(chǎng)，以亞納米級(jí)精度、高動(dòng)態(tài)性能與快速交付優(yōu)勢(shì)，為精度關(guān)鍵型應(yīng)用提供高效的解決方案。

1 快速交付，品質(zhì)保障
科研與工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用和流程需要能迅速部署、無需漫長(zhǎng)等待的超精密定位系統(tǒng)。PI攜PIMars系列高速XYZ納米定位系統(tǒng)、P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺(tái)系統(tǒng)與P-517 · P-527多軸壓電陶瓷掃描儀重磅登場(chǎng)，以亞納米級(jí)精度、高動(dòng)態(tài)性能與快速交付優(yōu)勢(shì)，為精度關(guān)鍵型應(yīng)用提供高效解決方案。

2 六大核心優(yōu)勢(shì)
（1）非常精密的運(yùn)動(dòng)，易于集成
電容傳感器實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)分辨率、99.97%線性度及長(zhǎng)期穩(wěn)定性。 優(yōu)良的掃描平面度（Z向運(yùn)動(dòng)±30 nm的直線度和平面度）和緊湊尺寸，即使在空間受限的設(shè)備中，仍可確保準(zhǔn)確的平面運(yùn)動(dòng)與便捷的集成。
（2）靈活光學(xué)通路
通光孔徑支持透射光與光束對(duì)準(zhǔn)任務(wù)，適配光子學(xué)與顯微應(yīng)用。
（3）出眾穩(wěn)定性
零間隙柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高剛性的無磨損、無摩擦運(yùn)動(dòng)，具備抗沖擊、抗振動(dòng)和抗溫度變化能力。
（4）高動(dòng)態(tài)性能
采用壓電驅(qū)動(dòng)與并行位置測(cè)量技術(shù)，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)串?dāng)_補(bǔ)償與高速運(yùn)行下的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度，可在科研與工業(yè)領(lǐng)域有效提高產(chǎn)量、改進(jìn)質(zhì)量控制并降低成本。
（5）出眾耐久性
全絕緣PICMA?壓電陶瓷促動(dòng)器的使用壽命達(dá)到傳統(tǒng)產(chǎn)品的10倍，可靠性經(jīng)千億次循環(huán)驗(yàn)證。
（6）迅速供貨
P-561、P-562和P-563型號(hào)備有庫(kù)存，確保迅速交貨。

3 覆蓋多領(lǐng)域超精密場(chǎng)景
· 顯微成像與生命科學(xué)：超分辨率、共聚焦和原子力顯微成像、Z軸堆疊、活細(xì)胞研究及生物納米技術(shù)；出眾的掃描平面度，確保清晰的3D圖像；
· 納米技術(shù)：面向科研與工業(yè)應(yīng)用的納米結(jié)構(gòu)精密操控與組裝；
· 光子學(xué)與光學(xué)：光纖和光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、干涉測(cè)量及精密光學(xué)調(diào)整；中央孔徑支持透射光及光束對(duì)準(zhǔn)任務(wù)；
· 半導(dǎo)體與計(jì)量：晶圓檢測(cè)、光刻、掩膜對(duì)準(zhǔn)和缺陷檢測(cè)等納米級(jí)精度與高動(dòng)態(tài)性能至關(guān)重要的應(yīng)用。
PI產(chǎn)品經(jīng)理（壓電系統(tǒng)與促動(dòng)器）Aysenur ünal表示： “PIMars XYZ壓電平臺(tái)突破了掃描、對(duì)準(zhǔn)與計(jì)量領(lǐng)域的精度極限。 它們將亞納米分辨率、高剛性與動(dòng)態(tài)響應(yīng)融為一體，為新一代科研與制造提供所需的精度和速度?！?/p>

4 P-562.6CD PIMars 六軸壓電平臺(tái)系統(tǒng)
（1）性能規(guī)格
· 6個(gè)運(yùn)動(dòng)軸：3個(gè)為線性，3個(gè)為旋轉(zhuǎn)；
· 行程達(dá)200微米（線性）和1毫弧度（偏擺角）；
· 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的多軸精度；
· 電容式傳感器帶來最高線性度；
· 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)；

· 優(yōu)異的掃描平面度；
· 通孔尺寸66 毫米×66 毫米；
· PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽命；
· 超高真空兼容至10-9百帕。
（2）使用場(chǎng)景
掃描顯微鏡、超分辨率顯微鏡、生物技術(shù)、掩模/晶圓定位、樣本定位、干涉測(cè)量、計(jì)量。

5 P-517·P-527 多軸壓電陶瓷掃描儀
（1）性能規(guī)格
· 2軸和3軸版本（XY和XYθZ型）；
· 行程達(dá)200 微米；
· 亞納米級(jí)分辨率 。
（2）使用場(chǎng)景
計(jì)量、干涉測(cè)量、光子學(xué)/集成光學(xué)、平版印刷術(shù)、納米定位、掃描顯微鏡、樣本對(duì)準(zhǔn)、微加工。

6 響應(yīng)需求，保障項(xiàng)目進(jìn)度
針對(duì)科研項(xiàng)目的緊急驗(yàn)證、工業(yè)生產(chǎn)的突發(fā)產(chǎn)能需求， PI 優(yōu)化供應(yīng)鏈體系。PIMars 系列多款產(chǎn)品支持快速交付， P-517·P-527 多軸壓電陶瓷掃描儀、P-562.6CD 六軸壓電平臺(tái)系統(tǒng)配套設(shè)備同步供應(yīng)，避免因交期延誤影響項(xiàng)目推進(jìn)，為用戶提供高效、可靠的裝備保障。
從微觀科研的精準(zhǔn)觀測(cè)，到高端制造的效率提升， PI以“極致精度 + 快速交付”的雙重優(yōu)勢(shì)，用 PIMars 系列、P-562.6CD 六軸壓電平臺(tái)系統(tǒng)與 P-517·P-527 多軸壓電陶瓷掃描儀，重新定義超精密運(yùn)動(dòng)解決方案。

7 常見問題Q&A
（1）提問1：有哪些行程范圍可選？
A：XYZ平臺(tái)提供45、100、200或300 μm等行程，覆蓋掃描、晶圓定位與干涉測(cè)量領(lǐng)域。
（2）提問2：PI納米定位器的集成便捷性如何？
A：配備自動(dòng)配置、迅速組件更換功能，結(jié)合PI的壓電控制器、軟件及數(shù)據(jù)庫(kù)完整解決方案，集成過程簡(jiǎn)單有效；緊湊型設(shè)計(jì)，可輕松安裝于空間受限的設(shè)備。
（3）提問3：如何解決滯后與蠕變？
A：電容傳感器結(jié)合閉環(huán)控制實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)實(shí)際位置，主動(dòng)補(bǔ)償滯后和蠕變，實(shí)現(xiàn)可重復(fù)的亞納米精度。
（4）提問4：為什么納米定位平臺(tái)對(duì)科研與工業(yè)至關(guān)重要？
A：納米定位平臺(tái)是現(xiàn)代科研與制造業(yè)的核心，它們能夠提供半導(dǎo)體、光子學(xué)和生物納米技術(shù)突破所必需的亞納米精度、穩(wěn)定性與速度。
（5）提問5：是否支持真空環(huán)境和多軸配置？
A：是。系統(tǒng)采用無聚合物、無潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì)，確保低放氣特性，理想適配高真空與特高真空環(huán)境（低至10-? hPa）。PIMars系列平臺(tái)可提供最多六軸的復(fù)雜多維定位方案以及真空和低溫兼容版本，交貨周期按需定制。