作為芯片制造的必須設備,光刻機之所以能被譽為工業(yè)皇冠上的明珠,是因為它昂貴、復雜、精密等多種無與倫比的特性。全球最先進的光刻巨頭是荷蘭的ASML,它是唯一能生產(chǎn)EUV光刻機的企業(yè),臺積電、三星所制造的高端芯片都要依賴EUV。
由于ASML產(chǎn)線上摻雜有不少美國技術(shù),因此,在出口管制規(guī)則之內(nèi),老美不允許它賣給我們EUV光刻機。
在這樣的情況下,我們?nèi)粝雽崿F(xiàn)芯片自主,解開華為等中企的“芯”困境,光刻技術(shù)設備就成了必須要跨過的一道“藩籬”。好消息是,中科院等國內(nèi)頂尖科研機構(gòu)已紛紛表態(tài),并成立了專項技術(shù)攻關小組,誓要實現(xiàn)光刻機的國產(chǎn)化。
然而,ASML對此卻冷嘲熱諷,放出大話:即便給中國圖紙,他們也造不出EUV光刻機。
不僅ASML,就連臺積電創(chuàng)始人張忠謀也發(fā)出“忠告”:大陸應該專注芯片設計,代工交給臺積電就可以了,全球沒有任何一個國家能夠建立完整的半導體產(chǎn)業(yè)鏈,且還能在競爭激烈的市場上保持競爭力。
誠然,半導體屬于重資產(chǎn)行業(yè),技術(shù)門檻要求高,各項難度系數(shù)大,不過,ASML和張忠謀所說或許都有自己的私心。因為一旦我們突破了光刻壁壘,實現(xiàn)了芯片的國產(chǎn)化,那么美系企業(yè)ASML、臺積電都將被排除在我們的市場之外。
這顯然是兩家全球性的“頭部”企業(yè)不愿意看到的,畢竟我國是世界上最大的半導體設備、芯片消費市場。
雖有不少質(zhì)疑之聲,可我們自主造光刻機、自主造芯的計劃絲毫沒有動搖,并且不斷傳來好消息。
清華大學的極紫外光源、上海微電子的國產(chǎn)28nm光刻機,都表明“再尖端的技術(shù)設備也是人造的,而非神造的”。另外,刻蝕設備、離子注入機、高端光刻膠、EDA軟件等幾乎所有的核心設備材料也都實現(xiàn)了國產(chǎn)化,“中國芯”的前途一片光明。
誰曾想到,在這關鍵時刻,國內(nèi)院士卻潑來冷水,在2021年第五屆大數(shù)據(jù)科學與工程國際會議上,中國工程院士吳漢明表示:EUV光刻機屬于全球技術(shù)的集成設備,配件與技術(shù)供應商超過了5000家,價值一億多美元卻市場小眾,我們想獨立完成非常不現(xiàn)實,還不如專心的把55nm這類低端芯片給“做透”。
對此,許多網(wǎng)友表示不理解:我們自主造芯、自主造光刻機并非是自不量力,而是被老美斷供,不得不做,如果放棄研發(fā)光刻機,只專注于低端芯片,豈不是正中了對手的“圈套”?
事實也的確如此,如果不研發(fā)高端光刻機,那么華為海思等先進的國產(chǎn)芯片設計實力就沒有“起舞”的平臺,芯片困局也難以解開,更關鍵的是,會一直被卡著脖子。
不過,吳漢明教授所說的更符合我國半導體產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)狀,而且“這盆冷水”并不是讓我們放棄對尖端設備的研發(fā),而是認清現(xiàn)實、有的放矢的發(fā)展。國產(chǎn)半導體不能“懸空”,研發(fā)光刻機很重要,但打好基礎更重要,做好協(xié)調(diào)發(fā)展很關鍵。
國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)的崛起之路沒有彎道超車,只有腳踏實地、按照工藝隔代來循序漸進地追趕。
此前一直依賴進口的我們必須要把基礎打夯實才行,55nm芯片還沒“吃透”,就要直奔5nm、3nm的高端芯片,無異于“還不會走,就要學別人跑”,這顯然太不理智了。