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　　這家荷蘭企業(yè)生產(chǎn)全球唯一商用的極紫外光刻機(jī)(EUV)，該設(shè)備是芯片制造商的核心生產(chǎn)裝備。阿斯麥方面的數(shù)據(jù)顯示，這款新設(shè)備能省去芯片制造流程中數(shù)個(gè)高成本、高復(fù)雜度的工序，助力臺(tái)積電、英特爾等芯片企業(yè)制造性能更強(qiáng)勁、能效更優(yōu)異的芯片。

　　阿斯麥耗時(shí)數(shù)年研發(fā)這款高成本的新一代設(shè)備，與此同時(shí)，芯片制造商們也一直在評(píng)估，何時(shí)啟動(dòng)該設(shè)備的量產(chǎn)才具備經(jīng)濟(jì)可行性。

　　當(dāng)前一代極紫外光刻機(jī)在制造復(fù)雜人工智能芯片方面的能力已接近技術(shù)極限，而這款名為 High-NA EUV(高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī))的新一代設(shè)備，成為人工智能行業(yè)的關(guān)鍵所在 —— 它將助力優(yōu)化 OpenAI 的 ChatGPT 等聊天機(jī)器人，同時(shí)幫助芯片企業(yè)如期推進(jìn)人工智能芯片研發(fā)路線圖，以滿足市場(chǎng)激增的需求。這款新設(shè)備的單臺(tái)成本約為 4 億美元(IT之家注：現(xiàn)匯率約合 27.41 億元人民幣)，是初代極紫外光刻機(jī)的兩倍。

　　阿斯麥?zhǔn)紫夹g(shù)官馬爾科?皮特斯稱，阿斯麥的相關(guān)數(shù)據(jù)顯示，目前高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)的停機(jī)時(shí)間已大幅減少，累計(jì)加工完成 50 萬(wàn)片餐盤(pán)大小的硅晶圓，且能夠刻制出芯片電路所需的高精度圖案。這三項(xiàng)數(shù)據(jù)共同表明，該設(shè)備已具備交付廠商量產(chǎn)使用的條件。

　　盡管設(shè)備已實(shí)現(xiàn)技術(shù)就緒，但芯片企業(yè)仍需耗時(shí) 2 至 3 年開(kāi)展充分的測(cè)試與研發(fā)，才能將其整合至量產(chǎn)流程中。皮特斯認(rèn)為從設(shè)備的試產(chǎn)驗(yàn)證周期來(lái)看，目前已到關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。皮特斯表示：“芯片制造商已掌握相關(guān)技術(shù)，具備完成該設(shè)備量產(chǎn)認(rèn)證的能力?！?/p>

　　他還透露，目前該款設(shè)備的稼動(dòng)率已達(dá)到約 80%，公司計(jì)劃在今年年底前將這一指標(biāo)提升至 90%。該設(shè)備完成的 50 萬(wàn)片晶圓加工工作，讓公司解決了設(shè)備運(yùn)行中的諸多技術(shù)難題。